ACU20PCD压力控制器-产品中心-北京精量科技有限公司

一、产品概述

ACU20PCD双阀压力控制器集成两个电磁阀，进气阀将过程气体引入腔体，保持密闭空间的压力，压力过高时，泄压阀自行打开进行泄压，快速精准地控制压力的稳定，同时避免气体浪费。

ACU20PCD标配一个压力传感器和数字电路板，提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制，该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。除了配备标准的RS485输出信号，ACU20PCD还提供模拟量输入/出信号，可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。同时，可触控显示屏使操作更加便捷。ACU20PCD双阀压力控制器可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀，具有超快和平稳控制的特性。我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀，高流速应用使用先导阀，稳压和泄压应用双阀。

二、产品应用

应用领域：半导体生产、科研实验、生物医药、能源化工、泄漏测试、燃料电池、真空镀膜及过程控制等。

三、产品参数

技术参数	精度(包括线性和滞后性)	±0.5%F.S
	压力控制器	1:50
	重复性	≤0.1%
	传感器响应时间	0.2s
	控制稳定性	≤±0.05%F.S(测定条件：1 L/min N2)
	运行温度	-10~+70℃
	温度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影响度（90°变化）	＜0.03 KPa（绝压/表压传感器）
		＜0.6 KPa（差压传感器）
	预热时间	忽略不计

机械部件	材质	不锈钢
	工艺连接	G3/8"
	密封材质	氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/其他
	防护等级（外壳）	IP40

电气特性	电源	15~24Vdc
	数字输出	RS485/RS232
	电气连接	DB9

四、产品尺寸图

五、可选配套测控软件 （另外收取费用）

质量流量测控系统V5.0

ACU20PCD-MC双阀压力控制器选型表 （添加 11048 69159 、29145 69088 或 186 1279 0707 、186 1279 0733 帮您选型）

系列号	ACU20P
产品类型	【C】压力控制器
压力类型	【A】绝压【G】表压
耐压范围	【M】3MPa
现场显示状况	【N】不带液晶显示【X】带液晶显示
压力范围	【-100K】100KPa 【1M】1MPa 【5M】5MPa 【10M】10MPa 【15M】15MPa 【20M】20MPa
被测介质	详见密度参照表
流量输入信号	【A1】0~5VDC 【A2】4~20mA 【A3】1~5VDC
输出信号	【B1】0~5VDC 【B2】4~20mA 【B3】1~5VDC
供电电压	【5】±15VDC 【4】24VDC
通讯方式	【8】RS485 【2】RS232
密封材质	【V】氟橡胶【T】丁腈橡胶【N】氯丁橡胶【Y】其他
使用接头	【A】φ3 【B】φ6 【F】1/8" 【G】1/4" 【Y】其他与厂家联系
选型举例	ACU20P M A M N 100K 007 A1 B1 5 8 V E